电子与精密制造类无尘车间里，洁净度只是入场券，真正影响良率的是微振动。光刻、检测、精密装配设备对振动的敏感度常以微米甚至亚微米计，地面稍有起伏、隔壁设备一开，图像就糊。微振动控制属于结构问题，不是靠加厚地面就能解决，必须在设计与施工阶段一并考虑。四川华川洁净科技在电子车间项目中把振动指标写入技术条件。
控制思路是”隔振+吸振+刚性”，即切断传递路径、增加阻尼、提高基础刚度。三者缺一，效果都会打折。
精密车间地面平整度通常要求 2m 靠尺偏差不超过 2mm，高标准要求 1mm。地面刚度按设备荷载与振动要求设计，混凝土厚度与配筋不能只按常规荷载算。高精度车间常采用架空地板或独立设备基础，设备基础与建筑结构脱开，中间填充隔振材料。
| 指标 | 常规车间 | 精密车间 |
|---|---|---|
| 平整度（2m 靠尺） | ≤3mm | ≤1-2mm |
| 表面电阻 | 按防静电要求 | 1×10⁶-1×10⁹Ω |
| 振动速度（VC 曲线） | 不要求 | 按设备要求，可达 VC-D 或更高 |
空调机组与风机设弹簧减振台，减振效率不低于 90%；水泵设惯性基础与减振垫；风管与机组之间软接，管道吊架加减振垫。精密设备采用主动或被动隔振台，必要时做独立基础并设隔振沟。隔振沟宽度与深度按振动频率计算，一般宽度 200 至 300mm，填充松散材料。
振动检测用高灵敏度加速度传感器，按 VC 曲线评价，测点在设备安装位置与地面关键点。检测应在生产设备运行与空调系统正常运行的工况下进行，仅静态测量没有意义。平整度用靠尺与塞尺检测，必要时用激光扫平仪做全场测量。
微振动看不见，但良率看得见。四川华川洁净科技有限公司承接电子无尘车间净化装修与微振控制工程，电话 13198551112。
