无尘净化车间装修需围绕洁净度控制、工艺流程适配、材料选择及系统集成四大核心展开。以下是关键要点汇总:
一、洁净度分级与实现路径
百级至三十万级标准:依据《洁净厂房设计规范》,半导体行业百级车间需通过FFU与层流罩组合实现0.5μm颗粒物≤3520个/m³,十万级车间则依赖高效过滤与正压维持系统。
气流组织优化:采用层流或乱流设计,通过高效送风口(不锈钢框架+烤漆铝板冲孔网)与回风管道(热镀锌板+PF发泡塑胶板)实现均匀空气流动。
二、关键材料选择
地面材料:
环氧自流坪地坪:耐磨、易清洁,适用于高洁净区域。
防静电PVC地板/高架地板:满足电子行业防静电需求,便于线缆铺设。
围护结构:
彩钢板隔墙:可选岩棉夹芯(防火A级)或纸蜂窝夹芯(轻质高强度)。
铝扣板吊顶:防尘、易清洁,与照明系统集成设计。
密封处理:板材拼接处需用密封胶封闭,风管采用联合角咬口并涂密封胶,减少漏风率。
三、施工核心流程
洁净环境控制:
施工区域设置防尘隔离,进场材料需预清洁,施工人员穿戴洁净服。
动态监测颗粒物浓度,采用湿法作业减少扬尘。
系统集成安装:
空调净化系统:风管安装需保证制作精度(公差≤3mm),FFU布局匹配工艺设备分布。
电气工程:洁净空调、照明、设备配电独立控制,线缆暗敷减少积尘点。
四、配套系统配置
温湿度控制:芯片车间需保持温度±1℃、湿度±5%RH精度,防止热胀冷缩及静电危害。
照明系统:LED密封灯具(照度300-500lux),无频闪、低发热,均匀度≥0.7。
人/物流净化:设置风淋室、货淋通道及缓冲间,实现人员/物料分级净化。
五、行业适配案例
半导体芯片:千级洁净室需控制截面风速0.25-0.35m/s,湿度40%-60%。
生物医药:十万级车间采用环氧地面+彩钢板墙体,配备BMS系统实时监控压差。
食品加工:三十万级车间重点控制微生物指标,墙面采用抗菌涂层。
注意事项
验收标准:洁净度检测需空态、静态、动态三阶段测试,粒子计数器采样点不少于5个/m³。
运维预留:风管预留清扫孔及风量测试孔,高架地板下方预留30cm检修空间。